2 ケミカルサーキュレータ 半導体製造プロセス …

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1 THERMO-MODULECHEMICAL CIRCULATOR KELK 1960 1988 T = 45 CThj = 70 CQc = ( ) T = 45 CThj = 50 CQc = 31W( ) T = 80 to 105 CThj = 27 CQc = ( ) T = 45 CThj = 70 CQc = ( ) * * * 100 C 100 C N P N P P N N P (mm) (Qc:watts Mini-TECs Qc V Qh I I 1 1 20 /min 2)

配管ライン 液の流れ 信号ライン 処理槽 温度センサ ＊冷却加熱ユニット ＊コントローラ ポンプ ポンプコントローラ