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AlN 圧電薄膜を使用した 高性能バルク弾性波デバイスに関す …
（千葉大学学位申請論文） AlN 圧電薄膜を使用した 高性能バルク弾性波デバイスに関する研究 2009 年1 月 千葉大学大学院工学研究科 人工システム科学専攻 電気電子系コース
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