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5.1. Reaktionsmedium Plasma - ELTROPULS

Quelle: Nitrieren und Nitrocarburieren , Expertverlag, Ver ffentlichung demn chst - 1 - 050606 5. Plasmanitrieren und -nitrocarburieren Uwe Huchel Reaktionsmedium Plasma Als Plasma wird ein elektrisch leitf higes Gas bezeichnet. Damit ein Gas leitf hig ist, m ssen freie Ladungstr ger f r den Stromtransport zur Verf gung stehen. Bei Dr cken von > 0,1 bar ist diese Bedingung erst bei Temperaturen gr er ca. 8000 K erf llt. Wird der Druck auf ca. 1mbar verringert, kann ein Plasma auch bei weitaus geringeren Temperaturen erzeugt werden. Dieser Effekt wird bei der Plasma -w rmebehandlung ausgenutzt. Das Niederdruckplasma erm glicht eine "Hoch-temperatur-Oberfl chenchemie bei niedrigen Bauteiltemperaturen" und er ffnet f r viele Bereiche Verfahrenstechniken, die einzigartig sind.

Quelle: „Nitrieren und Nitrocarburieren“, Expertverlag, Veröffentlichung demnächst - 1 - 050606 5. Plasmanitrieren und -nitrocarburieren

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