Transcription of 반도체 산업에서의 XPS 및 AFM 분석 기술
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반도체 산업에서의 XPS 및 AFM 분석 기술
/ Vacuum Magazine 2016 12 December24< > 2005 (KAIST) , 2010 3 (ETRI) , 2013 5 Hewlett-Packard Labs , 2013 7 . 2010 , 2015 3 2015 4 . ( , , , , ) ( , , ) , SIMS(Secondary Ion Mass Spectroscopy), AES(Auger Electron Spectroscopy), ISS(Ion Scattering Spectroscopy), RBS(Rutherford Back Scattering), PES(Photo Emission Spectroscopy), LEED(Low Energy Electron Diffraction), RHEED(Reflection High Energy Diffraction), EELS(Electron Energy Loss Spectroscopy), STM(Scanning Tunneling Microscopy), AFM(Atomic Force Microscopy), HIM(Helium Ion Microscopy), ATP(Atom Probe Tomography).
반도체 산업에서의 xps 및 afm 분석 기술 반도체 산업 표면/계면 분석기술의 현재와 미래 25 에너지는 화학적 결합상태에 따라 변하기 때문에 화학적
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