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MEMS圧力センサ開発疑似体験

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miyano Design Wave Magazine (p.95 C;M Y BL) Right Page Design Wave Magazine 2004 May 95 2 ここでは,MEMS圧力センサを例にとって,その開発工程を解 説する.設計は,検出原理(センシング原理)の検討,センサ仕

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