Transcription of 2 ケミカルサーキュレータ 半導体製造プロセス …
1 1 THERMO-MODULECHEMICAL CIRCULATOR KELK 1960 1988 T = 45 CThj = 70 CQc = ( ) T = 45 CThj = 50 CQc = 31W( ) T = 80 to 105 CThj = 27 CQc = ( ) T = 45 CThj = 70 CQc = ( ) * * * 100 C 100 C N P N P P N N P (mm) (Qc.)
2 Watts Mini-TECs Qc V Qh I I 1 1 20 /min 2 mm 3 50/60Hz NES-333-7 GRT-63-R-ULNES-363-7 GRT-66-R-ULNES-3123-7 GRT-612-R-ULEX-410-RRX-610-R KELK RCA CS 1 NES/GRT 25 C 25 C 25 C 5 /min 15 /min EX/RX 25 C 25 C 25 C 5 /min 25 /min 2 3 RX-610-REX-410-R EDFA APD CCD 1 2 1.
3 2. O 3. 4. IP31 5. 1. RCA 2. GRT-66-R-ULNES-363-7 1 15 C 50 C C 450W 390kcal/h) 1160W 1000kcal/h) PID Pt100 Pt100 UP/DOWN 4 C 15 /min 30 3/4 5/8 PFA 25mm 22mm 25 /min RS-232C PV2 RS-232C W136 D300 H226 D400 H180 7kgAC200 240V/8AW156 D300 H226 D420 H267 12kgAC200 240 D300 H226 21kgW220 D405 H250 18kgW180 D475 H230 28kgW160 D445 H290 230W 200kcal/h) 580W 500kcal/h) 810W 700kcal/h) 1980W 1700kcal/h) 870W 750kcal/h) 2500W 2150kcal/h)
4 AC200 240V/17A3 5 /min4 6 /min5 6 /min5 6 /min /Product Guide /Product Guide67
