Gas Compatibility Chart

1 Brass303 Stainless Steel316 Stainless SteelAluminumZincCopperMonelPCTFEPTFET efzelKynarPVCP olycarbonateKalrezVitonBuna-NNeoprenePol yurethaneMaterials of ConstructionMetalsPlasticsElastomersComm on Chemical NameFormulaAcetyleneC2H2C1 SSIUUSSSSSI ISC2 C2 C2 C2 Air SSSSSSSSSSSSSSSSSSA lleneC3H4 SSSSIUSSSSSI ISSSSIA mmoniaNH3 USSSUUSSSSUSUC3 USSUA rgonArSSSSSSSSSSSSSSSSSSA rsineAsH3 SSSC5 ISSSSSSSISSSSUB oron TrichlorideBCl3 USS I I sssss I S IC3 IIIIB oron TrifluorideBF3 SSSSISSSSSISIC3 IIII1,3-ButadieneC4H6 SSSSSSSSSSSSUSSUSUB utaneC4H10 SSSSSSSSSSSSUSSSSS1-ButeneC4H8 SSSSSSSSSSSSUSSSSSCis-2-ButeneC4H8 SSSSSSSSSSSSUSSSSST rans-2-ButeneC4H8 SSSSSSSSSSSSUSSSSSC arbon DioxideCO2 SSSSSSSSSSSSSSSSSSC arbon MonoxideCOSSSSSSSSSSSSSSISSSC arbonyl SulfideCOSSSSSISSSSSSSI ISI I IChlorineCl2 USSUUUSSSSSUUSSUUUD euteriumD2 SSSSSSSSSSSSISSSSSD iboraneB2H6 SSSSISSSSSI I ISI I I IDichlorosilaneH2 SiCl2 ISSIIISSSSSIISIIIID imethyl EtherC2H6 OSSSSSSSSSSSSUSSSSIE thaneC2H6 SSSSSSSSSSSSISSSSSE thyl AcetyleneC4H6 ISSSIUSSSISIISSISIE thyl ChlorideC2H5 ClSSSUISSSSSSUUSSSSUE thyleneC2H4 SSSSSSSSSSSI ISSSSIE thylene Oxide**C2H4OC4 SSC5 IUISSI IUUC3

2 UUUUGas Compatibility Chart **Satisfactory for use with EPR (Ethylene Propylene Rubber) and Specialty Gas EquipmentREFERENCE180 Brass303 Stainless Steel316 Stainless SteelAluminumZincCopperMonelPCTFEPTFET efzelKynarPVCP olycarbonateKalrezVitonBuna-NNeoprenePol yurethaneMaterials of ConstructionMetalsPlasticsElastomersComm on Chemical NameFormulaEthylene Oxide/Carbon Dioxide Mixtures**C4 SSIIUISSI IUUC3 UUUUE thylene Oxide/Halocarbon Mixtures**C4 SSIIUISSI IUUC3 UUUUE thylene Oxide/HCFC-124C4 SSIIUISSI IUUC3 UUUUH alocarbon 11 CCl3 FSSSC5 ISSSSSSUUC3 SSUUH alocarbon 12 CCl2F2 SSSC5 ISSSSSSUUC3 SSSSH alocarbon 13 CClF3 SSSC5 ISSSSSSUUC3 SSSSH alocarbon 13B1 CBF3 SSSC5 ISSSSSSUUC3 SSSSH alocarbon 14CF4 SSSC5

3 ISSSSSSUUC3 SSSSH alocarbon 21 CHCl2 FSSSC5 ISSSSSSUUC3 UUSSH alocarbon 22 CHClF2 SSSC5 ISSSSSSUUC3 UUSUH alocarbon 23 CHF3 SSSC5 ISSSSSSUUC3 IIISH alocarbon 113 CCl2 FCClF2 SSSC5 USSSSSSUUC3 SSSSH alocarbon 114C2Cl2F4 SSSC5 ISSSSSSUUC3 SSSSH alocarbon 115C2 ClF5 SSSC5 ISSSSSSUUC3 SSSSH alocarbon 116C2F6 SSSC5 ISSSSSSUUC3 IIISH alocarbon 142BC2H3 ClF2 SSSC5 ISSSSSSUUC3 USSSH alocarbon 152AC2H4F2 SSSC5 ISSSSSSUUC3 USSSH alocarbon C-318C4F8 SSSC5 IISSSSSUUC3 SSSSH alocarbon 502 CHClF2/CClF2-CF3 ISSC5 IISSSISUUC3 SSSSH alocarbon 1132AC2H2F2 SSSC5 ISSISSSUUC3 IIISH eliumHeSSSSSSSSSSSSSSSSSSH ydrogenH2 SSSSSSSSSSSSSSSSSSH ydrogen ChlorideHClUSS IUUSSSSSSUSSUUUH ydrogen SulfideH2 SUSSSIISSSSSSSSUSSSI sobutaneC4H10 SSSSSSSSSSSSUSSSSSI sobutyleneC4H8 SSSSISSSSSSSISSSSIGas Compatibility Chart (continued)**Satisfactory for use with EPR (Ethylene Propylene Rubber) and Compatibility Chart (continued)

4 Brass303 Stainless Steel316 Stainless SteelAluminumZincCopperMonelPCTFEPTFET efzelKynarPVCP olycarbonateKalrezVitonBuna-NNeoprenePol yurethaneMaterials of ConstructionMetalsPlasticsElastomersComm on Chemical NameFormulaIsopentaneC5H12 SSSSSSSSSSSSUSSSSSK ryptonKrSSSSSSSSSSSSSSSSSSM ethaneCH4 SSSSSSSSSSSSISSSSSM ethyl ChlorideCH3 ClSSSUUSSSSSSI ISSUUUM ethyl MercaptanCH3 SHSSSUIUUSSSI I ISI ISINeonNeSSSSSSSSSSSSSSSSSSN itric OxideNOUSSSI sssss I S I S I I S INitrogenN2 SSSSSSSSSSSSSSSSSSN itrogen DioxideNO2 ISSSIISSSSIUISUUUUN itrous OxideN2 OSC6 C6 C5 SSSSC5 SSSIC3 SSSSO xygenO2S C7 C7 C7 SSSSC5 SSSSC3 C8 C8 C8 SPerfluoropropaneC3F8 SSSSISSSSSI I I I ISSIP hosphinePH3 ISSSIISSSSIIISIIIIP hosphorous PentafluoridePF5 ISSIIISSSSIIIIIIIIP ropaneC3H8 SSSSSSSSSSSSUSSSSSP ropyleneC3H6 SSSSSSSSSSSSUSSUUUP ropylene OxideC3H6 OISSIIIISSSIUSC3 UUUUR efrigerant Gases See HalocarbonsSilaneSiH4 SSSSISSSSSSSISSSSSS ilicon TetrachlorideSiCl4 ISSUIISSSIIUIC3 IIIIS ilicon TetrafluorideSiF4 SSSSISSSSSSSIC3 sssss ulfur DioxideSO2 USSSUUSSSSSSUSSUUSS ulfur HexafluorideSF6 SSSSISSSSSSSIC3 SSSST richlorosilaneHSiCl3 ISSUIISSSIIUIC3 IIIIV inyl Methyl EtherC3H6 OSSSSIUSSSSIIUC3