Grundlagen der Vakuumtechnik - Leybold Online Shop

1 Grundlagen der VakuumtechnikStand 2016 Leybold GmbH Bonner Strasse 498 D-50968 CologneT +49 (0) 221-347-0 F +49 (0) 221-347-1250 199 90 Grundlagen der VakuumtechnikLV_13990_2016 16:171 VorwortLeybold hat sich als Teil der global agieren den atlas copco Gruppe zum Weltmarktf hrer im Bereich Vakuumtechnologie entwickelt. In dieser F hrungsposition erkennen wir nicht nur Aufgabe und Herausforderung, sondern auch Verantwortung gegen ber unseren Kunden. Diese Brosch re soll, unabh ngig von der derzeitigen Leybold Produktpalette, einen leicht lesbaren ber blick ber die gesamte Vakuumtechnik geben. Die angegebenen Diagramme und Daten der Produkte sollen vor allem das Verst ndnis der tech nischen Funktion vertiefen und sind keine Zusicherung von erfolgte eine Erweiterung der physikalischen Grund lagen und einiger anderer Themen, da es seit der letzten Auf lage naturgem eine Reihe von neuen Entwicklungen gab, die ber cksichtigt werden Kundenbeziehungen geh ren f r uns ge nauso grundlegend zur Unternehmenskultur wie fortlaufende Investitionen in Forschung und Entwicklung, die als Grundlage f r neue technologische Standards und Innovationen dienen.

2 Seit unserer 1850 andauernden Firmengeschichte haben wirim Bereich der Vakuumtechnologie umfassende Prozess undAnwendungskenntnisse angesammelt. Gemeinsam mit unseren Kunden und Partnern werden wir auch in Zukunft weitere M rkte erschlie en, neue Ideen verwirklichen und wegwei sende Produkte ln, im Dezember 2016 Grundlagen der Vakuumtechnik2 Vorwort3 Grundlagen der Vakuumtechnik berarbeitet und zusammengestellt vonDr. Walter Umrathunter Mitwirkung vonDr. Rudolf Bahnen, Dr. Thomas Dreifert, Dr. Hans-Ulrich Haefner, Rainer H lzer,Dr. Frank Kadi, Elke Mossolff, Herbert Litterscheid, Ruth Rey, Hans Rottl nder,Willi Scheer, Frank Sch nborn, Dr. Gerhard Vo 4 Grundlagen der Vakuumtechnik1 Beginn der Vakuumtechnik .. Normalbedingungen .. Die atmosph rische Luft .. Ma systeme .. Vakuumtechnik bei Leybold .. Gr en, deren Formelzeichen, Einheiten und Definitionen .. Vakuumtechnische Grundbegriffe.

3 Die Gasgesetze und Modell- vorstellungen .. Kontinuumstheorie .. Kinetische Gastheorie .. Die Druckbereiche der Vakuum- technik und ihre Charak- terisierung .. Viskose- oder Kontinuums- str mung .. Molekularstr mung .. Knudsenstr mung .. Berechnung von Str mungs- leitwerten .. Leitwerte von Rohrleitungen und ffnungen .. Leitwerte anderer Bauelemente .. Nomographische Bestimmung von Leitwerten .. Praktische Auswirkungen der unterschiedlichen Str mungs- .. formen .. Kohlenwasserstoff freies Vakuum .. bersicht ber die verschiedenen . Arten von Vakuumpumpen .. 222 Mechanische pumpen .. Fl ssigkeitsgedichtete Rotations- Verdr ngerpumpen .. Fl s sig keits ringva ku um pum pen .. l ge dich te te Ro ta ti ons- Ver dr n ger pum pen .. Dreh schie ber pum pen (TRIVAC A, TRIVAC B, TRIVAC E, SOGEVAC).

4 Sperr schie ber pum pen .. 25 Tro choi den pum pen .. 26 Der Gasballast .. Gleichzeitiges Abpumpen von Gasen und D mpfent .. Wasserdampfvertr glichkeit .. Kon den sa to ren .. Zu be h r zu lgedichteten Ro ta ti ons-Ver dr n gerpum pen .. le f r Rotationsverdr nger- Vakuumpumpen .. Trockenlaufende Rotations- Verdr ngerpumpen, die gegen Atmosph re verdichten .. Klau en pum pen .. Klau en pum pen mit in ne rer Ver dich tung f r die Halb lei ter- indu strie ( DRYVAC -Reihe) .. Klau en pum pen ohne in ne re Ver dich- tung f r die Che mie ( ALL ex ) .. Schraubenvakuumpumpen ..1 Schraubenvakuumpumpen f r industrielle Anwendung ..2 Schraubenvakuumpumpen f r die Halbleiterindustrie (DuraDry) .. Scroll-Pumpen .. Trockenlaufende Rotations- Verdr ngerpumpen, die nicht gegen Atmosph re verdichten- verdichten (W lzkolben- oder Rootspumpen).

5 Trockenlaufende Oszillations- verdr nger-Vakuumpumpen .. Membranpumpen .. Hubkolbenpumpen .. Pumpen mit Kurbelwellenantrieb (EcoDry L, EcoDry M) .. Kolbenpumpen mit Linearantrieb f r kleine Saugverm gen .. Antriebsoptionen f r mechanische Pumpen bei 1-Phasen-Netzen (Weltmotor f r alle f r 1-Phasen- Spannungen) .. 583 Kinetische Vakuumpumpen .. Treib mit tel pum pen .. ( l-)Dif fu si ons pum pen .. ( l-)Dampf strahl pum pen .. Treib mit tel .. Treib mit tel r ck str mung und ihre Un ter dr c kung (Dampf sper ren, Baf fle) .. Was ser strahl- und Was ser dampf strahlpum pen .. Turbo-Mo le ku lar pum pen .. berblick .. Funktionsprinzip .. Kenngr en .. Installation und Betriebs- hinweise.

6 Besondere Anforderungen .. Messungen an Turbo-Molekular- pumpen .. 724 Gasbindende Vakuumpumpen .. Sorptionspumpen .. Ad sorp ti ons pum pen .. Ver damp fer pum pen .. Ionen-Zer st u ber pum pen (IZ-Pum pen) .. Mas siv get ter pum pen (NEG-Pum pen) .. Kryopumpen .. Arten von Kryo pum pen .. Kalt kopf und des sen Ar beits wei se .. Die Re fri ge ra tor-Kryo pum pe .. Bin dung von Gasen an Kalt fl chen .. Saug ver m gen und Lage der Kalt fl chen .. Kenn gr en einer Kryo pum pe .. 835 Die Auswahl des Pumpverfahrens und Dimensionierung der Pumpen .. bersicht ber die gebr uch- lichsten Vakuumverfahren .. Ab pum pen von Gasen (troc ke ne Pro zes se).

7 Ab pum pen von Gasen und D mp fen (nasse Pro zes se) .. Trock nungs pro zes se .. Er zeu gung l frei er (koh len- was ser stoff rei er) Vakua .. Ul tra hoch vaku um: Ar beits tech nik .. Di men sio nie rung der Va ku um- anla ge und Be stim mung der Pum pen gr e .. Eva ku ie ren eines Va ku umbeh l ters (ohne zu s tz li chen Gas- oder Dampf anfall) .. Eva ku ie ren eines Be h l ters im Grob va ku umbereich .. Eva ku ie ren eines Be h l ters im Feinva ku umbereich .. Eva ku ie ren eines Be h l ters im Hoch va ku umbereich .. Eva ku ie ren eines Be h l ters bei An fall von Gasen und D mp fen .. Pum pen di men sio nie rung bei Trock nungs pro zes sen .. Wahl der ge eig neten Vor pum pe.

8 Bestimmung der Vorvakuumpumpe mit Hilfe von Saugverm gens- und Saugleistungskurven .. Bestimmung der richtigen Kombination von Hoch- und Vorvakuumpumpen mit Operationsdiagrammen .. Er mitt lung von Aus pump zei ten aus No mo gram men .. Computergest tzte Berechnungen von Leybold .. 1016 Verbindungselemente Flansche und Ventile .. Flansche und ihre Abdichtungen .. Flanschsysteme .. Kleinflansche .. Klammerflansche .. Feste Flansche .. Feste Flansche .. Materialbezeichnungen f r metallische Werkstoffe in der Vakuumtechnik .. Dichtungen .. Elastomerdichtungen .. Metallische Dichtungen .. Auswahl geeigneter Ventile .. Gasschleusen und Verschu ventile .. 1077 Das Messen niedriger . Dr cke, Druck ber- wachung, Drucksteuerung und Druckregelung.

9 Grund s tz li ches zum Mes sen nied riger Dr c ke .. Va ku um meter mit gas art- unab h n gi ger Druck anzei ge .. Feder-Va ku um meter .. Mem bran-Va ku um meter .. Kap sel fe der-Va ku um meter .. DIA VAC Mem bran- Va ku um meter .. Pr zi si ons-Mem bran- Va ku um meter .. Druckschalter .. Ka pa zi ti ve Va ku um meter (auch: CDG s von Capacitance .. Diaphragm Gauges) .. Fl s sig keits- (Queck sil ber-) Va ku um meter .. U-Rohr-Va ku um meter .. Kom pres si ons-Va ku um meter (nach McLe od) .. Va ku um meter mit gas art ab- h n gi ger Druckan zei ge .. Rei bungs-Va ku um meter (VIS CO VAC) .. W r melei tungs-Va ku um meter .. Io ni sa ti ons-Va ku um meter .. Io ni sa ti ons-Va ku um meter mit kal ter Ka tho de (Pen ning-Va ku um meter).

10 Io ni sa ti ons-Va ku um meter mit Gl h katho de .. Transmitter .. Allgemeine Eigenschaften von Transmittern .. Einzel Transmitter (Vakuummeter) .. Kombinationstransmitter (ITR 90) .. Einflu der Ausleseger te von Transmittern auf die Me unsicherheit .. Digitale bertragung .. Analoge bertragung .. Ju stie ren, Ei chen und Ka li - brieren; DKD, PTB, Na tio na le Stan dards .. Bei spie le f r fun damen tale Druck me metho den als Stan dard - ver fah ren zum Ka li brie ren von Va ku umme tern .. Spezifikation, Me unsicherheit, Angaben im Kalibrierschein .. Herstellerspezifikation eines Vakuumeters (me technische) .. Kalibrierung .. Druck ber wachung, -steue rung und -re ge lung in Va ku um- beh l tern .. Grund s tz li ches zur Druck ber- wachung und -steue rung.