ISO 14644-1 1963 FED-STD-209 ISO14644-1 2001 m 1 1ft3 100 1ft3 m 100 1999 ISO 14644-1 1m3 m 1ft3 = 100 1000 ISO m m m m m mClass 1102 Class 210024104 Class 311,000237102358 Class 410 10,0002,3701,02035283 Class 5100 100,000 23,700 10,2003,52083229 Class 61,000 1,000,000 237,000 102,000 35,2008,320293 Class 710,000352,000 83,2002,930 Class 8100,0003,520,000 832,000 29,300 Class 935,200,000 8,320,000 293,000 / m3) ( )ISO 14644-1
クリーンルームの規格（iso 14644-1） クリーンルームの空気清浄度規格は、1963年、⽶国連邦規格（fed-std-209）として初めて制定されました。
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1 ISO 14644-1 1963 FED-STD-209 ISO14644-1 2001 m 1 1ft3 100 1ft3 m 100 1999 ISO 14644-1 1m3 m 1ft3 = 100 1000 ISO m m m m m mClass 1102 Class 210024104 Class 311,000237102358 Class 410 10,0002,3701,02035283 Class 5100 100,000 23,700 10,2003,52083229 Class 61,000 1,000,000 237,000 102,000 35,2008,320293 Class 710,000352,000 83,2002,930 Class 8100,0003,520,000 832,000 29,300 Class 935,200,000 8,320,000 293,000 / m3) ( )ISO 14644-1
4 epMotion 5070：コンパクトな4ポジション epMotion 5073：スループットを向上した6ポジション epMotion 5070 & 5073シリーズ 20% OFF epMotionシリーズのコンパクトタイプ5070シリーズは、よりシンプルなルーチンアッセイを省力化するための分注機能に特化し たシステムです。ミドルサイズの5073シリーズは5070 ...