SEC-N100 Specifications jp 20170724 - horiba.com

1 SEC-N100 Series . SEC-N112 MGM SEC-N112 MGR W SEC-N122 MGM SEC-N122 MGR W SEC-N132 MGM SEC-N132 MGR SEC-N142 MGM SEC-N142 MGR SEC-N172R. SEC-N114 MGM SEC-N114 MGR W SEC-N124 MGM SEC-N124 MGR W SEC-N134 MGM SEC-N134 MGR SEC-N144 MGM SEC-N144 MGR SEC-N174R. SEC-N115 MGM SEC-N115 MGR SEC-N125 MGM SEC-N125 MGR SEC-N135 MGM SEC-N135 MGR SEC-N145 MGM SEC-N145 MGR SEC-N175R . SEC-N116 MGM SEC-N116 MGR SEC-N126 MGM SEC-N126 MGR SEC-N136 MGM SEC-N136 MGR SEC-N146 MGM SEC-N146 MGR SEC-N176R. SEC-N117 MGM SEC-N117 MGR SEC-N127 MGM SEC-N127 MGR SEC-N177R. SEF-N112 MGM SEF-N112 MGR W SEF-N122 MGM SEF-N122 MGR W SEF-N132 MGM SEF-N132 MGR SEF-N142 MGM SEF-N142 MGR SEF-N172R. SEF-N114 MGM SEF-N114 MGR W SEF-N124 MGM SEF-N124 MGR W SEF-N134 MGM SEF-N134 MGR SEF-N144 MGM SEF-N144 MGR SEF-N174R. SEF-N115 MGM SEF-N115 MGR SEF-N125 MGM SEF-N125 MGR SEF-N135 MGM SEF-N135 MGR SEF-N145 MGM SEF-N145 MGR SEF-N175R.

2 SEF-N116 MGM SEF-N116 MGR SEF-N126 MGM SEF-N126 MGR SEF-N136 MGM SEF-N136 MGR SEF-N146 MGM SEF-N146 MGR SEF-N176R. SEF-N117 MGM SEF-N117 MGR SEF-N127 MGM SEF-N127 MGR SEF-N177R. N2 R01 : 10 SCCM : 175 SCCM 05 : 3 SLM N2 . : 03 : 300 SCCM : : 22 SLM. 01 : 30 SCCM : 550 SCCM 06 : 10 SLM 09 : 100 SLM 10 : 200 SLM 300/500/1000 SLM . 07 : 30 SLM. : 55 SCCM 04 : 1 SLM 08 : 50 SLM . SEC F -N17 R 02 : 100 SCCM : SEC F -N17 R . C C / O . 2% 2% 5% . 2 100% 2 100% 5 100% . SEF 0 100% 0 100% SEF . 30% 35% . 1 2% 1. 30% 35% . 5 50 15 45 5 50 15 45 . 1 1 2 T98 Typical . 1% . 1% . 50 300kPa d 150 300kPa(d) 300/500 SLM . 200 300kPa d 100 300kPa d 200 300kPa d 5 . ,06:100 300kPa d 250 350kPa(d) 1000 SLM . SEF 300kPa d 300kPa d 350kPa d SEF . 450kPa g 450kPa g 350kPa g . 1000kPa g 1000kPa g . 5 10 12Pa m3/s He 1 10 10Pa m3/s He 5 10 12Pa m3/s He 1 10 10Pa m3/s He 5 10 12Pa m3/s He 1 10 10Pa m3/s He 5 10 12Pa m3/s He 1 10 10Pa m3/s He 1 10 7Pa m3/s He.

3 SUS316L PTFE SUS316L PTFE SUS316L PTFE SUS316L PTFE SUS316L SUS316L SUS316 / SUS304 PTFE. SUS316L SUS316L . 2 2 2 2 2 . 1/4" VCR 1/4" Swagelok 3 1/2" VCR 3/8" Swagelok 4 1/2" VCR 1/2" Swagelok .. 1 SEC F -N17 R SEMI SCCM SLM mL/min L /min at0 . 2 PTFE 3 1/4" Swagelok SEC-N1 RW . 4 3/8" Swagelok SEC-N13 R SEC-N14 R 5 0kPa g .. SEC-N102 W SEC-N106. SEC-N112 MGM SEC-N112 MGR W SEC-N122 MGM SEC-N122 MGR W SEC-N132 MGM SEC-N132 MGR SEC-N142 MGM SEC-N142 MGR SEC-N172R SEC-N116 MGM SEC-N116 MGR SEC-N126 MGM SEC-N126 MGR SEC-N136 MGM SEC-N136 MGR SEC-N146 MGM SEC-N146 MGR SEC-N176R. SEF-N112 MGM SEF-N112 MGR W SEF-N122 MGM SEF-N122 MGR W SEF-N132 MGM SEF-N132 MGR SEF-N142 MGM SEF-N142 MGR SEF-N172R SEF-N116 MGM SEF-N116 MGR SEF-N126 MGM SEF-N126 MGR SEF-N136 MGM SEF-N136 MGR SEF-N146 MGM SEF-N146 MGR SEF-N176R. 5 VDC 2% 1M 5 VDC 10 VDC 20 A 2%.

4 0 5 VDC 0% 2k 0 5 VDC 0 10 VDC 4 20mA 0% . RS-485 38400bps F-Net Protocol -DP Protocol 15V 5% 150mA 15V 5% 150mA 15V 5% 150mA 15V 5% 150mA 24 VDC 13 32 VDC .. 15V 5% 200mA 15V 5% 250mA 15V 5% 150mA 15V 5% 200mA SEC-N104 W EtherCAT SEC-N107. SEC-N114 MGM SEC-N114 MGR W SEC-N124 MGM SEC-N124 MGR W SEC-N134 MGM SEC-N134 MGR SEC-N144 MGM SEC-N144 MGR SEC-N174R SEC-N117 MGM SEC-N117 MGR SEC-N127 MGM SEC-N127 MGR SEC-N177R. SEF-N114 MGM SEF-N114 MGR W SEF-N124 MGM SEF-N124 MGR W SEF-N134 MGM SEF-N134 MGR SEF-N144 MGM SEF-N144 MGR SEF-N174R SEF-N117 MGM SEF-N117 MGR SEF-N127 MGM SEF-N127 MGR SEF-N177R. DeviceNet Protocol EtherCAT Protocol ODVA DC24V 24 VDC 4V.. CC-Link SEC-N105. SEC-N115 MGM SEC-N115 MGR SEC-N125 MGM SEC-N125 MGR SEC-N135 MGM SEC-N135 MGR SEC-N145 MGM SEC-N145 MGR SEC-N175R. SEF-N115 MGM SEF-N115 MGR SEF-N125 MGM SEF-N125 MGR SEF-N135 MGM SEF-N135 MGR SEF-N145 MGM SEF-N145 MGR SEF-N175R.

5 5 VDC 10 VDC 20 A 2% . 0 5 VDC 0 10 VDC 4 20mA 0% . CC-Link Protocol 1 CC-Link 24 VDC 13 32 VDC.