クリーンルーム空気清浄度評価法の ... - Beckman

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(ISO 14644 -1 2015 ) Particle Counting & Characterization Application Note. Introduction 1963 FED-STD-209 ISO 14644 -1 2001 11 1 1 ft3 m 100 1 ft3 m 100 1999 ISO 14644 -1 1 m3 m 1 ft3 = m3 2015 12 ISO 14644 -1 1999 ISO 14644 -1: 2015 m 2 /m3 m 4 /m3 m 8 /m3 m 29 /m3 4 ISO 14644 -1: 2015 mClass 110 (2)Class 21002410 (4)Class 311,00023710235 (8)Class 41010,0002,3701,02035283Class 5100100,00023,70010,2003,520832 (29)Class 61,0001,000,000237,000102,00035,2008,320 293Class 710,000352,00083,2002,930Class 8100,0003,520,000832,00029,300Class 935,200,0008,320,000293,000 / m3) ( )ISO 14644 -1( 2015 ) m3 Table 1000 m2

ISO 14644-1が制定され、以降は1 m3 中の0.1 μm 以上の粒子数を規定するようになりました。 ※ 1 ft3 = 0.02832 m3 2015. 年12月、第1版（ISO 14644- 1：1999）が廃止され、第2版（ISO 14644- 1:2015）がリリースされました。ここでは、その主 たる改正点をご紹介いたします。

  2015, Iso 14644, 14644