クリーンルーム空気清浄度評価法の ... - Beckman
ISO 14644-1が制定され、以降は1 m3 中の0.1 μm 以上の粒子数を規定するようになりました。 ※ 1 ft3 = 0.02832 m3 2015. 年12月、第1版（ISO 14644- 1：1999）が廃止され、第2版（ISO 14644- 1:2015）がリリースされました。ここでは、その主 たる改正点をご紹介いたします。
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