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ウォーターマーク原因調査 - MST｜一般財団 ...
Si TOF-SIMS Cr,Fe,Ni TOF-SIMS Na(m/z 23)Cr(m/z 52)Fe(m/z 56)Ni(m/z 58)weakPeakIntensity strong 1 250 m TOF-SIMS TOF-SIMS TOF-SIMS C0199 2010/12/08 2017/06/02TOF-SIMS TOF-SIMS LSI TEL 03-3749-2525 E-mail
データ 注射器に超純水を入れ、Siウエハ上に滴下して乾燥させたサンプルのTOF-SIMS測定を行いました。 結果、金属成分（Cr,Fe,Ni）が同心円状に分布している状態が確認されました。
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