Transcription of FE-17-IG-001 【標題】真空装置の排気計算について
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FE-17-IG-001 【標題】真空装置の排気計算について
1 FE-17-IG-001 ( ) ( ) 25 1. (1) ( ) [ ] [ ] (1) (5) / complete (2) (760 10 3 Torr) (10 12 Torr) ( 2 ) 10 5 Torr.
【整番】FE-17-IG-001 【標題】真空装置の排気計算について 分類：流れ(真空)／種別：初心手引き 作成年月：H22.2／改訂：Ver0.0(22.2) 作成者：N.Miyamoto 全25 枚 1. はじめに (1) 真空装置の排気は、真空ポンプやスチームエジェクタなどの排気装置で行われる。
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