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参考資料 Ⅸ JIS規格対応 - chiyoda-seiki.co.jp
JIS .. JIS . JIS .. JIS JIS .. W22 14/ Ar, N2, O2, Xe, Air W22 14 . Ne . Ar W22 14 CO2, Kr, Xe, Ne, CF4.. W22. AsH3 W22 14 .. BF3 W22 14 13.. 21 14/ He Cl2 W26 14 .. F2 W22 14 .. W21. HCl W26 14 .. H2 W22 14 14.. W22 14/ H2, CO, CH4, C2H6, H 2S W22 14 . C2H4, SiH4.. He 21 14 .. W22.. Kr W26 14 . 14. NH3 W22 14 . W23 14/ O . 2 .. NO W22 14 .. N2 W22 14 .. W23. W27P=2 . N2O 16. W22 14 . Ne W22 14 .. W23 14 14/ LPG. O2 . W22 14 .. PH3 W22 14 .. SF6 W22 14 . 16.. SiH4 W22 14 .. SO2 W22 14 W26 14/ . Cl2, HCl, Kr, CCl2F2, CHCIF2.. Xe W22 14 .. CCl2F2 12 W26 14 . W26.. CHClF2 22 W26 14 . CH4 W22 14 . 12. W27P=2 N2O .. CO W22 14 .. CO2 W22 14 . W27.. C2H2 . C2H4 W22 14 16.. C2H2. C2H4O W22 14 .. C2H6 W22 14 .. C3H6 W22 14 . 10. 21. 5.. C3H8 14 .. C4H10 W22 14 . 301. CGA/ BS .. CGA/ BS . RH= EXT= . CGA , BS LH= INT= .. CGA CGA .. CGA 346 CONNECTION 320 .825"-14 RH EXT 5/8 . Air .. CGA 580. Ar . CGA 350 . AsH3 .. CGA 330 CONNECTION 330 .825"-14 LH EXT 5/8.
一 般 工 業 ガ ス 用 圧 力 調 整 器 Ⅰ 分 析 用 標 準 ガ ス ・ 理 科 学 機 器 用 圧 力 調 整 器 Ⅱ 半 導 体 用 特 殊 材 料 ガ ス 高 純 度 ・ 超
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