Transcription of SEM の EDX 装置による定性・定量分析の技術向上 …
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Example: bachelor of science
SEM の EDX 装置による定性・定量分析の技術向上 …
SEM EDX SEM TEM X EDX EDX SEM-EDX EDX 1 2 3 SEM-EDX 3 EDX SEM EDX 1. X 1-1. X X X X E keV nm E= 1-2. X -1 FE-SEM S-4800 -2 6610A -3 SEMEDX-TypeH -1 LII MIII K X K 1 K 1 1 2 1 2 K K K K L L M 1-3.
特性X線は電子が遷移したときの軌道間エネル ギーの違いによって数多く存在する。その主なも のを図-1に示す。
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