Transcription of SEM-EDX,EPMA の原理と特徴
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SEM-EDX,EPMA の原理と特徴
SEM-EDX,EPMA ( ) X 2R R ( 2R ) 2R ( 2R ) 100000[cps] ( R) EPMA X SEM-EDX( ) EPMA( ) X X K L SEM-EDX EPMA X 1 X X X X 10000[cps] X X 100[cps] X 2
sem-edxとepmaの特徴を生かし、材料を評価します 線の粒子性により、エネルギースペクトルを得ます。 1個の検出素子で、約0.1kev以上の特性x線と連続x線をすべて同時に検出します。 定性分析時間は短く、数秒でスペクトルを得ることができます。
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