Transcription of SEM-EDX,EPMA の原理と特徴 - s-semtek.co.jp
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SEM-EDX,EPMA .. SEM-EDX( ) epma ( ).. X K . L .. X . epma X .. ( ) X .. 2R R. ( 2R ).. 2R . ( 2R ).. ( R) .. 100000[cps] . SEM-EDX( ) . X . 1 X X .. X .. X . 10000[cps] X X .. 100[cps] .. X 2 2 . X Si ( ) .. ( ). ( ). epma ( ) . X . ( ) 20 X . X .. 100000[cps] X . Zr L 1,2. X . Zr L 1. 100000[cps] EDX.. Zr L 2,3,4,6. Y L 1,2. Y L 1. Zr L 2,3. Zr sL 2. Hf M .. Zr L . Zr L 1. Zr L . Hf M .. epma .. [ ]. ( ). ( mm ) . 100ppm . ( ). ( ). SEM-EDX epma .
catno.z2016021 入射電子 半導体検出器 特性 分光結晶 原理上、 (sem-edx,epmaの原理と特徴 微弱なX線を効率よく検出するために、集光型の分光系を用います。
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