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9群(電子材料・デバイス) 3編(半導体) 章 応用編
(硅素)は14 族(短周期表ではⅣ族)元素の単体であり,エレクト ロニクス産業にとって欠くべからざる物質である.既存の半導体では最も高純度(15 n:
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