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期待される殺菌用・深紫外LED - JSAP

AlGaN量子井戸発光層の内部量子効率は，最高値で75 %程 度が観測されている． 図4(b)に，フォトルミネセンス法を用いて測定した深 紫外AlGaN量子井戸の内部量子効率を示す10)．図4(b)の 観測例では，室温における最高の内部量子効率は54 %で

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