GaN Power HEMT Tutorial: GaN Basics
AlGaN PR PR PR Sapphire Substrate Buffer GaN AlGaN ②Mask 02 –S/D Ø Sourceanddraincontactto AlGaN Ø Themetalmustbe depositedafteracompletely cleanprocesstoeliminate layersbetweenAlGaNand Metal A GaN-on-Sapphire HEMT Process Flow Example ③Deposit S/D metal Ø Deposit ohmic contacts on top of AlGaN as source and drain …
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