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薄膜、微小領域の機械物性評価技術 近年、エレクトロニクス分野では半導体デバイス、情報蓄積メディア、memsの微小化に
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A150910006
www.kobelcokaken.co.jpTitle: A150910006.indd Created Date: 11/27/2009 11:06:37 AM
D 薄膜、微小領域の機械物性評価技術
www.kobelcokaken.co.jp鋼:3gf、10gf、50gf DP-FM:10gf、50gf）硬さを評価 した。その結果、すべての試料について線形的な相関 が得られ、その一次近似式の第1項の係数は76.2となっ た。たとえば、ナノインデンテーション硬さ1GPaのビッカー ス硬さ概算値はHV80程度となる。1:1の関係にはなら
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