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web-material3.yokogawa.comgx90xa アナログ入力モジュール gs 04l53b01-01ja gx90xd ディジタル入力モジュール gx90yd ディジタル出力モジュール gx90wd ディジタル入出力モジュール gx90xp パルス入力モジュール gx90ya アナログ出力モジュール gx90ut pid制御モジュール gs 04l53b01-31ja 機能仕様 測定機能