PLASMA2017 一般講演 ポスター発表 ... - jspf.or.jp

2．放射線計測の基礎 - jspf.or.jp

正方法が異なることを特筆し，注意喚起をしておきたい． 2．1．2 主な放射線計測機器 放射線の検出原理別に，代表的な検出器を整理したのが

2．プラズマエッチング装置技術 ... - jspf.or.jp

2．1 はじめに 半導体デバイス生産のためのドライエッチング技術は， リソグラフィにより被加工膜の上に形成したフォトレジス

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4．パルスパワー発生回路の設計 ... - jspf.or.jp

matsusada.co.jp/dcps/pl/）を用いることで，インバータの 周波数の20kHzで電圧を取り出せる．この結果，時定数は

Fortranコンパイラ「g95/gfortran」 - jspf.or.jp

1．Fortranは実験データ解析に使えるか？ Fortranは定型のバッチ処理向き，というイメージが強 く，ダイナミックな要素の多い実験データ解析は不可能と

液中プラズマが拓く水素社会 - jspf.or.jp

水素を取り出す技術について解説する[8，9]． 2．液中プラズマの特徴 ここで述べる液中プラズマ法は，液体内に設置された金

Dechuck Operation of Coulomb Type and Johnsen …

Plasma and Fusion Research: Letters Volume 3, 051 (2008) Dechuck Operation of Coulomb Type and Johnsen-Rahbek Type of Electrostatic Chuck …

  Types, Electrostatic, Johnsen, Johnsen rahbek type of electrostatic, Rahbek

2．プラズマにおける環境改善反応過程の基礎

きいことが示されている[3]． 非平衡プラズマ中において，ラジカル生成の一次反応は 電子衝突による．したがって，電界 ...

プラズマCVD法による高品質ダイヤモンドの合成

ヤモンドは膜状で，通常は直径数10µm以下の結晶の集 合体である多結晶薄膜となる．気相合成のダイヤモンド

J.PlasmaFusionRes.Vol.93,No.10(2017)465‐466 - …

2．1 はじめに マイクロ波ロケットの最大の利点は，ビームによる外部 からのエネルギー供給により，エネルギー源と機体を分離

2. Frontier of the Research in Diamond-Like ... - …

（Capacitively-Coupled Plasma）[15]，ICP（Inductively-CoupledPlasma）[16]，表面波励起プラズマ[17‐20]， ECRプラズマ[21]など多種多様なプラズマ生成法が用い