Transcription of 微小角入射 X 線回折で界面の 構造をみる - JSAC
1 X .. X m cm 1 .. re 2 l n 1 d ib, d l re, b m ( 1 ).. 2p 4p . b X .. ( 1 ) . CuKa l . 10 8 cm d 10 6, b 10 7. X 1 . 1 . uc 2d .. X .. X .. X .. 1) . X . X . A l X . d .. l ..( 2 ). X d . 2 sin uB.. uB . 2 .. l X n . re cm 3 re 10 13. cm X GIXD X.. Analytical Methods for Surfaces, Interfaces and Boundary Regions . X . Observation of Interface Structure by grazing incidence X Ray Diffraction. 1 . 2 .. X ( a ) X . a i . X X . X a i . a i 2 ( b ) . uC X nm h X . 1) Dk/k 3/ h k . GIXD uC k 2p / l X 1 X .. nm A X . 1 5 nm . 2 nm X .. GIXD X a f . 3 uC . 1 a i X 2) Bragg X rod3) . X .. 2 . a f .. X . 1)4) .. Q Q xy . Q z uxy . 2p Qz (sin a i sin a f ). l 2p Q xy cos2 a i cos2 a f 2 cos a i cos a f cos 2uxy l 4p sin(2uxy/2) ..(. 3). 1 X l 2 X ( a ) . (b ) 3 X 2).. 3. a i a f . Q z .. 2p qz ( n2 cos2 a i n2 cos2 a f ) ( 4 ). l n 1 Q z qz.
2 A i a f . qz 0 .. qz 0 Q z 0 . a i a f . Q xy . 4 X 6). 1) .. X 2 ( a ). X . X qz .. 1 nm 1 nm . GIXD .. 3 . GIXD nm X . 5 X . GIXD . X . 1980 X . 5) GIXD 1 7) GIXD . X 8) 5 .. 2u X . a i V . X . foot print GIXD . X X 2Ux .. Bragg rod . 4 . GIXD . 2u 6) . GIXD . 4 .. 4 .. GIXD P 2 1 .. 6 ( b ) , ( c ) ( d ) . 225 nm, 115 nm 144 nm . P . L. MOCVD Dv X . MBE l Bragg uB Sherrer 11) .. L (Dv cos uB ) ..( 5). X .. GIXD P In 6. InP(001) P 2 1 (e) . In In . 76 s In . 9) 5 / 2 5 / 2 0 . 6 . 10) SPring 8 BL24XU GaAs12) GaN13) . A a i . GIXD .. 6 ( a ) P tertiarybuthylphosphine . TBP . 5 . P 2 1 . 5 /2 5 /2 0 . In trimethylindium TMI . nm 10 .. X 14) GIXD15) . X a i . X . 1) .. 7 Al / Cu a i . 5 X . CuKa l A Al .. 10 nm . Al . 7 Al . a i .. nm Cu . 7 Cu . Al Cu .. GIXD .. 6 10) .. 5. 7 X . 6 .. 16) .. GIXD .. Vollhardt .. 2C11H23 melamine.
3 17) .. 8 GIXD .. 8 . Q xy ( 10 . 01 ) (1 1 ) 8 17).. Q z 2 Z . h . 8 . 6 .. 10 22). 9 17). 11 Au(111) Bi 23). 9 .. Bi Au . 11 2 Bi . GIXD GIXD . 23) . Au . nm 12 V . 18) 12 ( c ) p 3 . 19) GIXD V V 12. (b) 2 2 . V . X Bi Au .. 20) . 21) 2 2 . p 3 . 7 .. X Bi 2 2 . p 3 . Tamura 22) . 10 12 ( a ) . V . 7 mm X V . 32 keV l A GIXD . 20 . Au ( 111 ) . Bi2O3 HClO4 .. 7.. 1) 2002, 623. 2) M. S. Kent, H. Yim, D. Y. Sasaki, S. Sajita, J. Majewski, T. Gog : Langmuir, 20, 2819 (2004). 3) J. Als Nielsen, D. Jacquemain, K. Kjaer, F. Leveiller, M. Lahav, L. Leiserowitz: Phys. Rep., 246, 251 (1994). 5) L. Ortega 1998, 164. 6) C. Zakri, A. Renault, J P. Rieu, M. Vallade, B. Berge, J . F. Legrand, G. Vingault, G. Grubel : Phys. Rev., 55, 14163. (1997). 7) X 30, 165 (1999). 8) X 30, 205 (1999). 9) . 14, 128 (2001). ). 10 S. Fujikawa, T. Kawamura, S.
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