総説 MEMS 技術

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MEMS . . . MEMS Micro electro Mechanical Systems . . MEMS 40 . MEMS 1 . 1982 MEMS . . MEMS . . MEMS Micro electro Mechanical Systems . 40 MEMS . . . MEMS Kurt E. . Petersen Silicon as a Mechanical Material . [1] 1982 . MEMS . . . MEMS Petersen . Petersen . MEMS . 1 38 MEMS. Si . MEMS . Bosch . DRIE Deep Reactive Ion Etching . Si [2, 3] Si . [4] . . Si . . Si . Petersen Fig. 34, 35 . P-Fig. Si . . . . . . . . . Bosch [5] 1 (a). HF Si . 2 . H2 . . . Si . 1 (b) Si 1 . H2 Si (a), (b) . (c) Bosch [5]. Si . . 1 (c) 2 [7] . JTEKT . . . Si 6 [6] . . . [8, 9] . . [6] [10] . P-Fig. 36 [11] SAW Surface Acoustic Wave . [12] . . Petersen . [15] . Si . 1100 C . Si . CMOS . . SIP System In Package STMicroelectronics . [16] Si 10 m [17] . . . CMOS . . . . MEMS 1 . 2 . [10] . . Stanford . P-Fig. 37 . Si Si . P-Fig. 15 17.

MEMS（Micro Electro Mechanical Systems）技術 の源流は今から40 年以上前にあり，MEMS とい う言葉が生まれるずっと前である。ある技術を理 解するにはその歴史をたどってみるのがよいが， MEMS 分野で，まず，お勧めしたいのはKurt E.

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