SEM-EDX AES -オージェ電子分光分析器- 最表面元素分析、 …

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SEM-EDX - - X - . AES - - . XPS -X - . TOF-SIMS - 2 - . . FT-IR - - . IC - - . HPLC/LC-MS - - - . GC-MS - - - . . . . TOF-SIMS. IC LC-MS. AA. ICP GC-MS. GC. . AES. XPS LC. NMR. EPMA FT-IR. EDX. . . FT-IR / . . . . cm cm--1 . . O-H 3570~3220. . N-H 3450~3120. . CO . CO 1750~1670. CN 2220. NO2 1540 1335. 1540 1335. . 10 m . . . FT-IR . . . ATR . . . . . . . ATR. . CO . CO . NO2. HOOC . HOOC . CN. HO . HO . . NH2. . . . FT-IR . . IR Image 1644/1468 cm-1 IR Image 1084/1468 cm-1. Abs. Ratio = Abs. Ratio = . b . c . a . . . 1644 1468 1084. a Absorbance b c . d(b-a). FT- IR 3000 2000 1500 1000. Wavenumbers (cm-1). . FT-IR . 10000.

sem-edx分析事例 ＜考察＞ edx分析結果より、異物は、製造装置可動部のアルミ部品と鉄部品がこすれ て発生した酸化アルミと酸化鉄の混合物と推測される sem-edx装置 ｽﾍﾟｸﾄﾙﾃﾞｰﾀ ｻﾝﾌﾟﾘﾝｸﾞ異物 無機物、金属の元素分析による物質特定が可能

  Sem edx, Sem edx aes