SEM-EDX AES -オージェ電子分光分析器- 最表面元素分析、 …
sem-edx分析事例 ＜考察＞ edx分析結果より、異物は、製造装置可動部のアルミ部品と鉄部品がこすれ て発生した酸化アルミと酸化鉄の混合物と推測される sem-edx装置 ｽﾍﾟｸﾄﾙﾃﾞｰﾀ ｻﾝﾌﾟﾘﾝｸﾞ異物 無機物、金属の元素分析による物質特定が可能
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