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X SEM-EDX - ORIST
およびsem-edx（b）での測定結果 測定例2：鉄化合物のマッピング分析（面分析） 一般的に、 μxrf のようにx線を励起源とする蛍 光x線分析では炭素、酸素などの軽元素の検出は 困難です。一方、電子線を励起源とする sem-edx では軽元素の検出が可能です。
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