Transcription of 10 - 8 章 圧力センサ - ieice-hbkb.org
{{id}} {{{paragraph}}}
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10 - 8 章 圧力センサ - ieice-hbkb.org
10 8 2 . 10 - 8 . 2 .. 2-1 . 2-2 . 2-3 . 2-4 . 2-5 . 2-6 . 2-7 . 2019 1/(22). 10 8 2 . 10 8 2 . 2-1 . [2013 9 ]. pressure .. SI Pa N/m2 .. mmHg . pressure Gauge . bourdon Tube . Aneroid 2 .. pressure Sensor .. Semiconductor pressure Sensor .. 1964 . 1) IC 1960 . MEMS Micro Electro Mechanical Systems .. MEMS . MEMS .. 2019 2/(22). 10 8 2 . 10 8 2 . 2-2 . [2013 9 ]. 2 1 . Diaphragm .. pressure diaphragm (a) half-cut picture silicon substrate (b) cross section 2 1 . 2-2-1 . Crystal Anisotropic Etching .. SiO2.
Pressure Gauge）」としては，圧力を屈曲管の変形 に変換して計測するブルドン管（Bourdon Tube）式，圧力を容器の変形に変換して計測するア ネロイド（Aneroid）式の2 種が代表的で，これらの計器は現代でも多くの場所で用いられてい る． 圧力センサ（
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