SEM-EDX,EPMA の原理と特徴
sem-edxとepmaの特徴を生かし、材料を評価します 線の粒子性により、エネルギースペクトルを得ます。 1個の検出素子で、約0.1kev以上の特性x線と連続x線をすべて同時に検出します。 定性分析時間は短く、数秒でスペクトルを得ることができます。
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