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濕式清潔法概要: 最常使用之晶圓表面清潔步驟為濕式化學法(wet chemistry)，在1980 年代亦曾有以乾式清潔 法取代濕式清潔法之論點，同時亦有一些相關的嘗試性研究，然而時至今日仍未有完整之乾式
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