Micromirror
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近年の MEMS 産業の動向 - nedo.go.jp
www.nedo.go.jpNEDO海外レポート NO.1037, 2009.1.28 21 【mems 特集】 近年のmems 産業の動向（世界） 近年増加しているmems（微小電気機械システム）1 は、多くの最先端製品に組み込ま れ重要な機能を可能にする、様々な技術とデバイスの総称である。
DLP660TE 0.66 4K UHD DMD - TI.com
www.ti.comProduct Folder Order Now Technical Documents Tools & Software Support & Community An IMPORTANT NOTICE at the end of this data sheet addresses availability, warranty, changes, use in safety-critical applications,
MEMS技術の課題と展望 - panasonic.com
www.panasonic.com43 集特 デバイス特集：mems技術の課題と展望 43 したsoiウェハをal-geの共晶接合でcmosウェハに接合 し，封止と電気的接続を行っている[10]．なお，これら