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近年の MEMS 産業の動向 - nedo.go.jp
NEDO海外レポート NO.1037, 2009.1.28 21 【mems 特集】 近年のmems 産業の動向（世界） 近年増加しているmems（微小電気機械システム）1 は、多くの最先端製品に組み込ま れ重要な機能を可能にする、様々な技術とデバイスの総称である。
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