Example: air traffic controller
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ULVAC TECHNICAL JOURNAL No.66 2007 Low-k材 …
www.ulvac.com.tw8 1．はじめに 近年，低比誘電率をもつ層間絶縁膜の実デバイス投入 の実現に向けて企業，大学，研究機関で開発が盛んに行
ULVAC TECHNICAL JOURNAL No.66 2007 強誘電 …
www.ulvac.com.twスマージンという意味で非常に有意義である。 3．3 mems用pzt膜の作製と諸特性 高温成膜法によって成膜したpzt膜の特性に ...