화학기상증착법(CVD)을 이용한 진공 박막 공정기술
디스플레이 제조 공정에서 PECVD에 의해 제작되는 박 막에는 amorphous silicon (a-Si), silicon nitride (SiNx), silicon oxide (SiOx) 등이 있다.PECVD의 가장 큰 특징
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