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半導体デバイスの評価・解析技術 - KOBELCO
とができる。異物がある場合には，sem-edx（エネル ギ分散x線分光法），異物が微小（1μm以下）な場合 にはaesにて同定することができる。 また，内部構造を明らかにするために，断面方向から semあるいはtemによる観察を要する場合がある。
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